Advanced ion implanter spare parts

GSD III HC3 ION SOURCE (10064789)

10	ARC SLIT AND RETAINER, W 品目番号 / 旧品目番号: 11627728	X Non-stock product	EA	OEM:17360750	1 EA	(EA)
20	ARC SLIT AND RETAINER 品目番号 / 旧品目番号: 14463562	X Non-stock product	pce	OEM:17360750	1 STK	(pce)
30	ARC CHAMBER 品目番号 / 旧品目番号: 11633955	X Non-stock product	EA	OEM:17359610	1 EA	(EA)
40	CATHODE REPELLER 品目番号 / 旧品目番号: 11633952		EA	OEM:17355290	1 EA	(EA)
50	Cathode Eterna 品目番号 / 旧品目番号: 11372213		pce	OEM:17355270	1 EA	(pce)
60	CATHODE SUPPORT PLATE 品目番号 / 旧品目番号: 11632830		EA	OEM:17287860	1 EA	(EA)
70	SUPPORT PLATE, REVERSIBLE CATHODE 品目番号 / 旧品目番号: 11633345		EA	OEM:17287860	1 EA	(EA)
80	FILAMENT, ELS, STRAIGHT 品目番号 / 旧品目番号: 11632827		EA	OEM:17287850	1 EA	(EA)
90	Filament ELS Assy 品目番号 / 旧品目番号: 11372527		pce	OEM:17287850	1 EA	(pce)
100	CLAMP FILAMENT 品目番号 / 旧品目番号: 11097914	X Non-stock product	pc	OEM:17287880	2 EA	(pc)
110	INSULATOR, CATHODE 品目番号 / 旧品目番号: 11632829		EA	OEM:17287870	1 EA	(EA)
120	RETAINING ROD 品目番号 / 旧品目番号: 11391899		pce	OEM:17D6403	4 STK	(pce)
130	SPRING, RETAINING ROD 品目番号 / 旧品目番号: 11631756		EA	OEM:4001167	4 EA	(EA)
140	Retaining Ring, E-Type 品目番号 / 旧品目番号: 11629904		EA	OEM:E43000005	4 EA	(EA)
150	NOZZLE, GAS 品目番号 / 旧品目番号: 11633956	X Non-stock product	EA	OEM:17357190	1 EA	(EA)
160	SST SET SCREW .500LG 品目番号 / 旧品目番号: 1112378	X Non-stock product	EA	OEM:	2 EA	(EA)
170	ELS REPELLER 品目番号 / 旧品目番号: 12073200	X Non-stock product	pce	OEM:17334410	1 STK	(pce)
180	ELS Repeller (W) 品目番号 / 旧品目番号: 11372125		pce	OEM:17334410	1 STK	(pce)
190	REPELLER INSULATOR 品目番号 / 旧品目番号: 11754859		pce	OEM:17121850	2 STK	(pce)
200	MOUNT, REPELLER 品目番号 / 旧品目番号: 11635466		EA	OEM:17362990	1 EA	(EA)
210	Mo INNER CUP SHIELD EGN-21750 品目番号 / 旧品目番号: 11631975		EA	OEM:17121750	2 EA	(EA)