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  PAS BERNAS LINER OPTIONS  (10047642)  



Application Note

Use 40 or 90 with vaporizer feed and 50 or 100 with gas only ion source. Textured liners are recommended for use where deposits or flaking are likely to cause source failure.

Items 140 to 170 are textured lanthanated tungsten liners that are beneficial for customer running more fluorinated processes to minimize the effects of "halogen cycling".


  製品数量:17
製品リスト
10
 END LINER  品目番号 / 旧品目番号:  11632803
EA OEM:PLANSEE DESIGN 2 EA
 
20
 SIDE LINER W/NOZZLE  品目番号 / 旧品目番号:  11632801
EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
30
 SIDE LINER  品目番号 / 旧品目番号:  11632802
EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
40
 BASE LINER, VAP.  品目番号 / 旧品目番号:  11633139
EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
50
 BASE LINER  品目番号 / 旧品目番号:  11632804
EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
60
 END LINER TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11637327
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
70
 SIDE LINER W/ NOZ TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11637329
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
80
 SIDE LINER TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11637328
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 4 EA
 
90
 BASE LINER TEXTURED, VAP  品目番号 / 旧品目番号:  11637365
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
100
 BASE LINER TEXTURED, NON-VA  品目番号 / 旧品目番号:  11637326
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
110
 A/C TOP SHIM  品目番号 / 旧品目番号:  11632805
EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
120
 A/C TOP SHIM TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11637325
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
130
 VIISION A/C TOP SHIM  品目番号 / 旧品目番号:  11635897
  EA OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA
 
140
 END LINER TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11988708
pce OEM:PLANSEE DESIGN 1 STK
 
150
 SIDE LINER, NOZZLE, TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11988728
pce OEM:PLANSEE DESIGN 1 STK
 
160
 SIDE LINER TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11988816
pce OEM:PLANSEE DESIGN 1 STK
 
170
 BASE LINER TEXTURED  品目番号 / 旧品目番号:  11988838
pce OEM:PLANSEE DESIGN 1 STK