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  9500 - XR IHC ION SOURCE CONSUMABLES  (10051223)  



Application Note:

The cam (#230) and cam retainer (#220) shown are minor modifications of the standard parts (0020-84806 & 0020-84807) and have been designed to secure together via threads, instead of press fit.

These parts are not inter-changeable with the AMAT design and must be used together.

Plansee also offers a one-piece, graphite, top plate (Part No. 11684422) that helps ensure consistent aperture size and location for customers that replace both sides during each PM.


  製品数量:29
10
RETAINER, FRONT PLATE  品目番号 / 旧品目番号:  11392015
  pce OEM:002084744 1 STK
 
20
FRONT PLATE, L/H, GPH  品目番号 / 旧品目番号:  11631951
EA OEM:002084907 1 EA
 
30
FRONT PLATE, R/H, GPH  品目番号 / 旧品目番号:  11560966
pce OEM:002084743 1 EA
 
40
LINER, SIDE, W  品目番号 / 旧品目番号:  345837
pc OEM:002086738 2,000 ST
 
50
LINER, END ANTI-CATHODE  品目番号 / 旧品目番号:  11631954
EA OEM:002086740 1 EA
 
60
Anti-Cathode,W,Modified Shaft  品目番号 / 旧品目番号:  235781
pc OEM:002081482 1 EA
 
70
SUPPORT BAR, ANTI-CATHODE  品目番号 / 旧品目番号:  302705
pc OEM:002080070 1 EA
 
80
THUMBSCREW,M4,CAPTIVE  品目番号 / 旧品目番号:  11381264
pce OEM:002098911 6 STK
 
90
SHIELD, INSULATOR  品目番号 / 旧品目番号:  11630713
EA OEM:002085362 1 EA
 
100
INSULATOR W/HELICOIL  品目番号 / 旧品目番号:  11630708
EA OEM:002097557 8 EA
 
110
ARC CHAM INDIRECT  品目番号 / 旧品目番号:  11633614
EA OEM:002086736 1 EA
 
120
PLUG, ARC CHAMBER, SDS  品目番号 / 旧品目番号:  11631660
EA OEM:002085074 2 EA
 
130
SLEEVE, OVEN NOZZLE  品目番号 / 旧品目番号:  11381958
pce OEM:002081226 1 EA
 
140
LINER, BASE, W  品目番号 / 旧品目番号:  345844
pc OEM:002086737 1,000 ST
 
150
E-CLIP TO SUIT M4 SHFT SS  品目番号 / 旧品目番号:  11629075
EA OEM:069090188 4 EA
 
160
COMPRESSION SPRING  品目番号 / 旧品目番号:  11630771
  EA OEM:378090110 4 EA
 
170
SST WASHER, FLAT, M4  品目番号 / 旧品目番号:  11631169
EA OEM:388090021 8 EA
 
180
PIN, RETAINING  品目番号 / 旧品目番号:  11630706
  EA OEM:002096040 4 EA
 
190
SUPPORT BAR, CATHODE  品目番号 / 旧品目番号:  335000
pc OEM:004096352 1 EA
 
200
SHIELD, INSULATOR LONG  品目番号 / 旧品目番号:  11632314
EA OEM:002086933 4 EA
 
210
FILAMENT CLAMP, L/H  品目番号 / 旧品目番号:  11631952
EA OEM:002086734 1 EA
 
220
CAM RETAINER  品目番号 / 旧品目番号:  11633257
EA OEM:PLANSEE DESIGN 2 EA
 
230
CAM, FILAMENT CLAMP  品目番号 / 旧品目番号:  11633256
EA OEM:PLANSEE DESIGN 2 EA
 
240
FILAMENT CLAMP, R/H  品目番号 / 旧品目番号:  11631953
EA OEM:002086733 1 EA
 
250
FILAMENT GUIDE  品目番号 / 旧品目番号:  11088138
pc OEM:002087508 2 EA
 
260
FILAMENT, ARC CHAMBER, IHC  品目番号 / 旧品目番号:  332103
pc OEM:002086735 1 EA
 
270
W Cathode, 3 mm Button  品目番号 / 旧品目番号:  11160370
SA OEM:004096830 1 SA
 
280
LINER, END CATHODE  品目番号 / 旧品目番号:  11631957
EA OEM:002089586 1 EA
 
290
SUPPORT, UPPER  品目番号 / 旧品目番号:  11381268
pce OEM:PLANSEE DESIGN 1 EA